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碳化硅(SIC)晶体生长方法之——化学气相沉积法的详解;
化学气相沉积技术在材料科学、半导体制造、机械加工、能源和环保领域具有广泛的应用前景。随着技术的不断发展和创新,CVD方法将继续在材料生长和薄膜制备方面发挥关键作用,满足不同行业对高质量薄膜和复合材料的需求。
物理气相传输法:这是目前最常用的SiC生长方法之一。它利用高温下SiC原料的升华和再结晶过程,在衬底上生长出高质量的SiC晶体。这种方法可以生长出大尺寸、高纯度的SiC晶体,适用于制造大功率和高频电子器件。
低压化学气相沉积法降低操作压力,加快薄膜生长速率,提高生产效率。热化学气相沉积利用高温激活化学反应进行气相生长,广泛应用于半导体材料生长。高温化学气相沉积是碳化硅晶体生长的重要方法,中温化学气相沉积在硬质合金工具行业有广泛应用。
半导体碳化硅(SiC)的长晶工艺多种多样,包括物理气相传输法(PVT)、高温化学气相沉积法(HTCVD)、液相外延法(LPE)和高温溶液生长法(HTSG)等。其中,PVT是最常见的长晶方式,其工艺涉及SiC源粉在高温下升华和凝结生长。
. 在化学气相沉积技术中,具体步骤包括反应气体混合、热分解、输运、表面反应和外延层生长。1 物理气相沉积(SIC,PVD)技术同样用于碳化硅外延,利用物理方法将固态材料转化为气态后沉积形成薄膜。1 PVD技术具有高晶体质量和结晶度,可控性强,适用于大面积制备等优势。
碳化硅的单晶生产主要***用物理气相传输法(PVT)、高温气相化学沉积法(HTCVD)、液相法(LPE)等方法。目前商用碳化硅单晶生长的主流方法为相对成熟的PVT法,但PVT法存在系统稳定性不佳、晶体生长效率低、易产生晶型杂乱和结晶缺陷等问题,导致成本较高。
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涂胶: 涂层厚度不超过20mm,先少量涂抹并按压,然后大量涂敷,避免气泡和气孔。根据产品特性选择涂胶方法,如涮涂、刮涂等。 固化: 固化过程中温度对时间有影响,低温下需更长时间。可通过预热材料加速固化,确保完全固化以达到最佳性能。
医药工业:生产药品原料、中间体和成品药物,搪瓷反应釜具有耐受酸碱性物质的能力,同时具有无菌、无毒、无异味的特点,可以保证药品质量和纯度。 化工行业:生产氢氧化钠、氯化钠、硫酸等化工产品的生产过程,反应釜通常会受到强酸碱侵蚀,搪瓷反应釜可以承受高浓度强酸碱侵蚀,延长设备使用寿命。
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软起动器和变频器是两种完全不同用途的产品。变频器是用于需要调速的地方,其输出不但改变电压而且同时改变频率;软起动器实际上是个调压器,用于电机起动时,输出只改变电压并没有改变功率。变频器具备所有软起动器功能,但它的价格比软起动器贵得多,结构也复杂得多。
电风扇”。1906年,美商慎昌洋行在杨树浦设厂生产电风扇。随后,欧美家用电器产品源源进入上海及中国其他大城市,市场上行销的电扇主要是美国通用电器公司生产的奇异牌。而制造中国第一台电风扇的,既不是电器专家,也不是高级工程师,而是一个普普通通的帐房先生,此人[_a***_]杨济川先生(1881-1952)。
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