大家好,今天小编关注到一个比较有意思的话题,就是关于长春石墨烯反应釜的问题,于是小编就整理了4个相关介绍长春石墨烯反应釜的解答,让我们一起看看吧。
石墨盘用途?
用途主要是能用于密封热水、过热蒸气、热传递流体、氨溶液、碳氢化合物、低温液体等介质,同时用于高温、高压、耐腐蚀介质下阀门、泵、反应釜的密封。
石墨盘主要是由各种增强纤维、金属丝(钢丝、铜丝、镍丝、碳纤维,预氧丝、玻璃纱)等增强的石墨线为原料精工编织而得。适用于高温高压条件下的动密封。它能用于密封热水、过热蒸气、热传递流体、氨溶液、碳氢化合物、低温液体等介质,主要用于高温、高压、耐腐蚀介质下阀门、泵、反应釜的密封 。它也是独特的万用密封盘。
在外延生长领域,高纯石墨盘是必不可少的。它在外延生长中起到加热和装载半导体晶圆的作用。
目前,主流外延设备厂商配套的石墨盘在结构上基本相同,均***用在石墨盘基座上设计一个晶圆形状的浅凹槽的方式来装载晶圆。
这种设计在生长小尺寸的晶圆(比如说4寸半导体晶圆)来说是合理的,维护起来也很方便。
但对于生长大尺寸的外延片,基于降低晶圆被旋转的石墨盘甩出的风险,晶圆槽底部相对于石墨盘顶部的高度比小尺寸石墨盘大一些。
这种设计导致了生长大尺寸外延片尤其是厚膜外延片出现了以下几个问题:
1)由于石墨盘与晶圆接触区域较多,在生长厚膜外延片时,沉积的外延层会增加石墨盘与半导体晶圆的粘接,使得生长完成后将外延片从石墨盘中无损伤取出较为困难,甚至可能导致裂片;
2)因晶圆边缘处较高的台阶使得该区域存在气体湍流,容易滞留较多的生长气体,从而使得外延片厚度和载流子浓度均匀性较差;
3)因外延炉一般***用射频感应加热,热量传递的方向是沿着石墨盘径向从边缘到中心,使得石墨盘边缘的温度高于中心区域的温度,这在大尺寸外延生长中尤为突出。
石墨比表面积大是什么原因?
一、比表异常和很多方面都有关系1、 粒度大小会直接影响比表大小2、石墨化炉完整性,封闭性3、出炉温度控制4、表层料管控二、 粒度问题1、过程控制(机械磨,混批,反应釜,整形,打散等等都会影响粒度)2、筛上物的添加比例
换热器的定义是什么?
定义:换热器是将热流体的部分热量传递给冷流体的设备,又称热交换器。 分类:换热器是实现化工生产过程中热量交换和传递不可缺少的设备。在热量交换中常有一些腐蚀性、氧化性很强的物料,因此,要求制造换热器的材料具有抗强腐蚀性能。换热器的分类比较广泛:反应釜 压力容器 冷凝器 反应锅 螺旋板式换热器 波纹管换热器 列管换热器 板式换热器 螺旋板换热器 管壳式换热器 容积式换热器 浮头式换热器 管式换热器 热管换热器 汽水换热器 换热机组 石墨换热器 空气换热器 钛换热器 换热设备,要求制造换热器的材料具有抗强腐蚀性能。
它可以用石墨、陶瓷、玻璃等非金属材料以及不锈钢、钛、钽、锆等金属材料制成。但是用石墨、陶瓷、玻璃等材料制成的有易碎、体积大、导热差等缺点,用钛、钽、锆等稀有金属制成的换热器价格过于昂贵,不锈钢则难耐许多腐蚀性介质,并产生晶间腐蚀。
换热器都有哪些?
定义:换热器是将热流体的部分热量传递给冷流体的设备,又称热交换器。分类:换热器是实现化工生产过程中热量交换和传递不可缺少的设备。在热量交换中常有一些腐蚀性、氧化性很强的物料,因此,要求制造换热器的材料具有抗强腐蚀性能。换热器的分类比较广泛:反应釜 压力容器 冷凝器 反应锅 螺旋板式换热器 波纹管换热器 列管换热器 板式换热器 螺旋板换热器 管壳式换热器 容积式换热器 浮头式换热器 管式换热器 热管换热器 汽水换热器 换热机组 石墨换热器 空气换热器 钛换热器 换热设备,要求制造换热器的材料具有抗强腐蚀性能。
它可以用石墨、陶瓷、玻璃等非金属材料以及不锈钢、钛、钽、锆等金属材料制成。
但是用石墨、陶瓷、玻璃等材料制成的有易碎、体积大、导热差等缺点,用钛、钽、锆等稀有金属制成的换热器价格过于昂贵,不锈钢则难耐许多腐蚀性介质,并产生晶间腐蚀。
到此,以上就是小编对于长春石墨烯反应釜的问题就介绍到这了,希望介绍关于长春石墨烯反应釜的4点解答对大家有用。